Thiết bị phòng sạch trên thực tế có nhiều kiểu dáng mẫu mã, và màu sắc khác nhau, tuy nhiên nhìn chung chúng đều có 3 loại thiết bị cơ bản là: Lọc sơ cấp(lọc thô), lọc thứ cấp, lọc HEPA(lọc tinh)
- Lọc sơ cấp ( hay lọc thô): là loại lọc thô nhất trong hệ thống lọc khí phòng sạch, kích cỡ hạt bụi thông thường lọc được là >=20 micron.
- Lọc thứ cấp: cấp độ lọc đạt từ 50% -95% với kích cỡ hạt bụi >= 0.5 micron.
- Lọc HEPA: kích cỡ hạt bụi thông thường là 0,3 micron, hiệu xuất lọc được là 99%.
Các thiết bị phòng sạch phổ biến hiện nay
Ngoài ra những thiết bị được sử dụng trong phòng sạch còn có các trang thiết bị thi công phòng sạch, dụng cụ dành cho phòng sạch, trang thiết bị cá nhân, đồ dùng tiêu hao,…
Thi công phòng sạch gồm:
· Vách ngăn cho phòng sạch
· Trần của phòng sạch
· Tấm tường cho phòng sạch
· Cửa phòng sạch
· Hệ thống điện phòng sạch
Dụng cụ phòng sạch:
· Bàn ghế phòng sạch, bàn chống tĩnh điện
· Khay chống tĩnh điện, hộp đựng chống tĩnh điện
· Kệ đựng bảng mạch chống tĩnh điện
· Màn che chống tĩnh điện
Các trang thiết bị cá nhân:
· Trang phục dành cho phòng sạch như quần áo, gang tay, khẩu trang,…
· Bao bọc giày phòng sạch
· Nón trùm đầu cho phòng sạch
Đồ dùng tiêu hao:
· Tấm hút bụi
· Tấm cao su
· Các loại giấy lau, khăn lau mới trong phòng sạch
· Bút, giấy viết dành cho phòng sạch